Sut mae gorchudd ffroenell chwistrellu uwchsonig yn ffotoresydd?

Mae technoleg cotio chwistrellu ultrasonic yn dechnoleg newydd sy'n chwarae rhan arwyddocaol mewn amrywiol ddiwydiannau ar hyn o bryd. Mae niferoedd mwy o gwsmeriaid bellach yn dewis ffroenell ultrasonic ar gyfer cotio. O'i gymharu â dau chwistrellu hylif traddodiadol, mae chwistrellu ultrasonic yn cynnig manteision sylweddol o ran ansawdd cotio, defnyddio deunyddiau, a chydnawsedd prosesau.

 

Mae ein cwmni'n cynnig gwasanaethau profi sampl am ddim, ac mae nifer cynyddol o gwsmeriaid yn anfon samplau atom i'w profi. Mae ein hoffer wedi derbyn adolygiadau cadarnhaol a chydnabyddiaeth gan ein cwsmeriaid.

 

Heddiw, byddwn yn trafod chwistrellu photoresist ultrasonic, math cymharol gyffredin o chwistrellu deunydd.

 

Mae Photoresist yn ddeunydd ffilm tenau sy'n sensitif i olau neu ymbelydredd ac fe'i defnyddir yn bennaf ar gyfer patrwm cain mewn meysydd fel cylchedau integredig a phaneli arddangos. Mae'n gweithredu fel gorchudd sy'n gwrthsefyll ysgythru yn y broses ffotolithograffeg. Mae ei hydoddedd yn newid wrth ddod i gysylltiad â golau, gan ffurfio'r patrwm cylched dymunol. Mae ffotoresyddion yn cael eu categoreiddio i dôn positif (mae ardaloedd agored yn hydoddi) a thôn negyddol (mae ardaloedd heb eu datgelu yn diddymu). Yn dibynnu ar y ffynhonnell golau datguddiad, maent yn cael eu dosbarthu i UV, UV dwfn, UV eithafol, a gwrthyddion pelydr electron.

Craidd technoleg chwistrellu atomization photoresist ultrasonic yw'r defnydd o ynni dirgryniad ultrasonic i gyflawni atomization effeithlon ac unffurf o'r photoresist. Yna mae rheolaeth llif aer manwl gywir yn danfon y defnynnau atomized i wyneb y swbstrad, gan ffurfio gorchudd o ansawdd uchel. Gellir rhannu'r broses yn dri cham allweddol:

 

 

1. Atomization ffotoresist: Mae dirgryniad amledd uchel yn torri tensiwn arwyneb yr hylif i lawr.

Elfen graidd technoleg chwistrellu ultrasonic yw'r ffroenell atomizing ultrasonic, sy'n gartref i ddirgrynwr cerameg piezoelectrig. Pan roddir signal trydanol amledd uchel ar y dirgrynwr, mae'n cynhyrchu dirgryniadau mecanyddol ar yr un amledd, gan drosglwyddo'r egni dirgrynol i wyneb atomizing y ffroenell. Ar ôl i'r ffotoresydd gael ei ddanfon i'r wyneb atomizing trwy'r system cyflenwi hylif, mae'r dirgryniadau amledd uchel yn torri i lawr tensiwn arwyneb yr hylif yn gyflym, gan ffurfio defnynnau maint micron gyda diamedr unffurf (fel arfer 5μm-50μm).

O'i gymharu ag atomization pwysedd traddodiadol (sy'n dibynnu ar lif aer pwysedd uchel i dorri'r hylif), mae atomization ultrasonic yn dileu'r angen am ymyrraeth llif aer pwysedd uchel, gan arwain at ddosbarthiad maint defnyn mwy unffurf (o fewn ± 10%). Mae hefyd yn osgoi tasgu defnynnau neu aflonyddu ar wyneb y swbstrad oherwydd effaith llif aer.

 

2. Rheolaeth Union ar y Llwybr Trosglwyddo

Mae gan ein cwmni beirianwyr rhaglennu proffesiynol sy'n gallu rhaglennu'r llwybr chwistrellu atomization yn annibynnol. Gallwn hefyd addasu gwahanol lwybrau chwistrellu yn unol â gofynion cwsmeriaid. Mae gennym brofiad aeddfed mewn gweithgynhyrchu peiriannau cyflawn. Ar gyfer pob dyfais, rydym yn ei raglennu ar gyfer y cwsmer. Ar y sgrin, mae'r cwsmer yn gweld y llwybr chwistrellu amser real. Yn ogystal â dewis llwybr, mae angen i ni hefyd addasu'r cyflymder llif aer (i reoli'r pellter trosglwyddo, yn nodweddiadol 5- 50mm) a lleoliad cymharol y ffroenell a'r swbstrad (gan ddefnyddio braich robotig neu gam cyfieithu ar gyfer lleoli tri dimensiwn), rydym yn sicrhau bod y gronynnau atomized yn cyrraedd wyneb y swbstrad yn fertigol ac yn gyfartal, gan osgoi trwch cotio anwastad a achosir gan lif aer.

3. Ffurfiant Ffilm Gorchuddio: Isel-Mae Curo Tymheredd yn Sicrhau Cywirdeb Strwythurol

Ar ôl i'r defnynnau atomized gael eu dyddodi ar wyneb y swbstrad, maent yn mynd trwy broses halltu tymheredd isel (yn nodweddiadol 60 gradd - 120 gradd , yn llawer is na thymheredd halltu tymheredd uchel cotio sbin traddodiadol) i ffurfio ffilm. Mae halltu tymheredd isel nid yn unig yn atal anffurfiad swbstrad neu ddirywiad materol a achosir gan dymheredd uchel, ond hefyd yn lleihau cronni straen o fewn y ffotoresist, gan wella adlyniad a chywirdeb strwythurol y cotio, gan osod sylfaen dda ar gyfer prosesau ffotolithograffeg dilynol.